硅酸盐学报

2011, (12) 2008-2012

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超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO:In透明导电膜
Preparation of ZnO:In Transparent Conductive Oxide Thin Films for Silicon Thin Film Solar Cell by Ultrasonic Spray Pyrolysis

焦宝臣;张晓丹;樊正海;魏长春;孙建;赵颖;

摘要(Abstract):

采用超声喷雾热分解法,在Eagle 2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明:当In摩尔掺量(In与ZnO的摩尔比)为1.5%时,获得的薄膜具有较低的电阻率(2.48×10-3 cm);所有In掺杂ZnO薄膜的透过率均达到80%;将ZnO:In薄膜作为前电极应用于μc-Si:H薄膜太阳电池,可以获得5.01%的转换效率。

关键词(KeyWords): 氧化锌薄膜;透明导电薄膜;超声喷雾热分解法;铟掺杂;太阳电池

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家高技术研究发展规划(2007AA05Z436,2009AA050602);; 天津科技支撑(08ZCKFGX03500);; 国家重点基础研究发展规划(2011CB201605,2011CB201606);; 国家自然科学基金(60976051);; 科技部国际合作重点(2006DFA62390,2009DFA-62580);; 教育部新世纪人才(NCET-08-0295)资助项目

作者(Author): 焦宝臣;张晓丹;樊正海;魏长春;孙建;赵颖;

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