硅酸盐学报

2003, (11) 1063-1068

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Past Issue) | 高级检索(Advanced Search)

喷雾热解法制备SnO_2:Sb透明导电薄膜
TRANSPARENT CONDUCTIVE SnO_2 : Sb THIN FILM PREPARED BY SPRAY PYROLYSIS METHOD

张聚宝,侯春,翁文剑,程逵,杜丕一,沈鸽,汪建勋,韩高荣

摘要(Abstract):

采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:在Sb掺杂量为11%(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO_2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82%,方块电阻达13.4Ω/□,电阻率为4.9×10~(-4)Ω·cm。

关键词(KeyWords): 透明导电薄膜;掺锑二氧化锡;喷雾热解;光电性能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2001AA320202)

作者(Author): 张聚宝,侯春,翁文剑,程逵,杜丕一,沈鸽,汪建勋,韩高荣

Email:

参考文献(References):

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享