硅酸盐学报

2012, (07) 945-949

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SnO_2:Sb透明导电薄膜的制备及光电性能
Preparation of SnO_2:Sb Transparent Conducting Thin Films and Photoelectric Properties

王贺;魏长平;彭春佳;程果;蔡永秀;李丛昱;

摘要(Abstract):

采用溶胶–凝胶法在玻璃基底上制备了Sb掺杂SnO2(SnO2:Sb)透明导电薄膜。研究了Sb掺杂量、镀膜次数、热处理温度对SnO2:Sb薄膜结构和光电性能的影响,利用X射线衍射仪、Fourier变换红外光谱仪、扫描电子显微镜、四探针电阻仪、分光光度计对薄膜样品进行表征。结果表明:SnO2:Sb薄膜为四方相金红石结构;薄膜结构平整、致密,膜厚与镀膜次数基本成线性关系;在Sb掺杂量为10%,镀膜8次的条件下,薄膜具有最佳的光电性能,方块电阻达105/□;在玻璃上镀SnO2:Sb薄膜后,近红外波段透过率下降显著,由90%降到5.5%,在可见光波段略有降低,仍保持了较高透过率。

关键词(KeyWords): 溶胶–凝胶;锑掺杂;薄膜;光电性能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 吉林省教育厅科技计划项目(200826)资助

作者(Author): 王贺;魏长平;彭春佳;程果;蔡永秀;李丛昱;

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