硅酸盐学报

2011, v.39;No.268(07) 1112-1117

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Al–Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜的掺杂机制
Doping Mechanism of Al-Sc Co-Doped ZnO Transparent Conductive Thin Films

陈建林;陈荐;何建军;任延杰;邱玮;陈振华;

摘要(Abstract):

采用溶胶-凝胶法制备Al-Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜,考察了结晶性、晶界状态、紫外-可见光透射光谱及Hall效应,并讨论其掺杂机制,结果表明:Sc单独掺杂时,晶粒尺寸变小,结晶性变差,晶粒表面包裹一层非晶相,透射光谱存在较大的吸收谷,无导电性;Al-Sc共掺杂时,晶粒表面无非晶相,c轴择优取向性和晶界状态变优,透射光谱无大的吸收谷,载流子迁移率比Al掺杂ZnO薄膜增大约1个数量级。

关键词(KeyWords): 氧化锌;透明导电氧化物;掺杂机制;溶胶-凝胶;太阳电池

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 湖南省科技计划(2010FJ3013);; 湖南省高校创新平台(10K007);; 理工人才引进基金(1198005)资助项目

作者(Author): 陈建林;陈荐;何建军;任延杰;邱玮;陈振华;

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